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微纳几何结构标准物质

 

 

 

 

 

1.用于膜厚仪的校准:

 

 

标准样品/物质厚度:20701604001000 nm

 

 

 

2.用于台阶仪、轮廓仪校准:

 

 

 

高度:501002005001000 nm

 

 

 

3.用于电镜AFM等的校准:

 

 

周期构:4001000 2000 nm